http://clear-ir-lamp.com/cs/tags/duv/ Recent content in (DUV) on Clear Infrared Heating Lamps Hugo cs Thu, 18 Jun 2026 04:48:21 +0800 http://clear-ir-lamp.com/cs/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ Thu, 18 Jun 2026 04:48:21 +0800 http://clear-ir-lamp.com/cs/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ <p><img src="http://clear-ir-lamp.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Lampa na vypalování rezistů pro hluboké UV záření (DUV)"></p> <p>V procesu litografie nejsou kroky měkkého a tvrdého vypalování pouze kroky spojenými s „nastavením fotorezistentu“. Ve skutečnosti určují také kritické parametry velikosti struktur na čipu. Odchylka teploty o 0,3 °C na povrchu čipu může způsobit, že rozměry struktur překročí stanovené limity – což vede ke zničení celé série výrobků. Proto jsme vyvinuli lampu na vypalování fotorezistentu v podsvětlovém spektru, která eliminuje tento problém.</p> <p><strong>Co je z hlediska techniky důležité</strong><br> Tato lampa využívá ohřev v blízkém infračerveném spektru k vytvoření termálního pole s uniformitou na úrovni ±0,1 °C po celé ploše čipu. Díky tomu je dosažena opakovatelnost vý<a href="https://o-yate.net">sledk</a>ů mezi jednotlivými sériemi výrobků – výstup lampy je totiž řízen pomocí uzavřené smyčky, nikoli na základě odhadů z vzdáleného termočlánku. To znamená, že teplota při vypalování fotorezistentu zůstává stabilní, ať už se jedná o výrobu menší série výrobků nebo ve velkém měřítku.</p>