http://clear-ir-lamp.com/cs/tags/foup/ Recent content in FOUP on Clear Infrared Heating Lamps Hugo cs Sat, 06 Jun 2026 04:29:52 +0800 http://clear-ir-lamp.com/cs/posts/foup-front-opening-unified-pod-dryer/ Sat, 06 Jun 2026 04:29:52 +0800 http://clear-ir-lamp.com/cs/posts/foup-front-opening-unified-pod-dryer/ <p><img src="http://clear-ir-lamp.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Sušička FOUP (jednotný kazetový zásobník s čelním otevíráním)"></p> <p>Na lithografické podlaze je mokrý FOUP vracející se ze umývárny problém, který pocítíte dříve, než ho uvidíte. Zbytková vlhkost způsobuje odchylky při soft bake, výkyvy šířky linky a tvorbu šrotu. FOUP musí být důkladně vysušený ještě před vstupem na track, a tento suchý stav musí být opakovatelný šarži po šarži.</p> <h2 id="co-je-technicky-důležité">Co je technicky důležité</h2> <p>Cílem je tepelná uniformita na úrovni waferu v rámci ±0,1°C přes celý nosič, aby každý wafer dostal stejný tepelný rozpočet. Topný modul využívá krátkovlnné infračervené záření s křemennými okny, což zajišťuje rychlou odezvu v přímé linii viditelnosti a snižuje tepelnou setrvačnost mezi nastavenou hodnotou a tělem FOUP. Komora je konstruována pro provoz v čistých prostorech třídy 1–100, s utěsněnými spoji a laminárním prouděním vzduchu, které během cyklu eliminuje tvorbu částic.</p>