http://clear-ir-lamp.com/cs/tags/semiconductor/ Recent content in Semiconductor on Clear Infrared Heating Lamps Hugo cs Sun, 31 May 2026 05:11:13 +0800 http://clear-ir-lamp.com/cs/posts/thermocouple-for-semiconductor-heater/ Sun, 31 May 2026 05:11:13 +0800 http://clear-ir-lamp.com/cs/posts/thermocouple-for-semiconductor-heater/ <p><img src="http://clear-ir-lamp.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Termočlánek pro polovodičový ohřívač"></p> <p>Na podlaze waferu čte regulátor teplotu 120,0 °C. Wafer leží na horké plotně a čeká na soft bake, který nastaví profil fotorezistu. Displej regulátoru však představuje pouze předpoklad. Bez termočlánku, který měří skutečnou teplotu dodávanou topidlem v rovině waferu, je tento předpoklad pouze odhad. Výkyv o 2 °C během pečení může posunout Tg fotorezistu, změnit odrazivost a nenápadně narušit kontrolu šířky linií. Nikdo za to nezíská kredit. Proces buď splní termální rozpočet, nebo ne.</p> <p>Termočlánek u polovodičových topidel není doplňkem. Je to měřicí kotva, která převádí tepelnou energii na opakovatelný vstup procesu. V litografických linkách, modulech pro nanášení a pečení i v nástrojích pro bonding waferů obvykle rozdíl mezi stabilním a okrajovým pečením spočívá v kvalitě zpětné vazby teploty. A tato zpětná vazba je tak dobrá, jak kvalitní je senzor, který ji poskytuje.</p>