Energieaudit für die Fabriktrocknung

Fri, 17 Jul 2026 08:07:16 +0800

Die Aufrechterhaltung der Reinheit der Wafer – auch wenn etwas schiefgeht
In einer Produktionsstätte mit hoher Leistungsfähigkeit ist ein defekter Infrarotstrahler ein echtes Problem. Es geht dabei nicht nur um die Stillstandzeiten – sondern auch um den Schmutz, der entsteht. Wenn eine Quarzkugel zerbricht, fallen Glasfragmente sowie Wolframfäden auf die Wafer herab. Ein einziger Defekt kann dazu führen, dass die gesamte Charge unbrauchbar wird.
Wir entwickeln unsere Lampen so, dass das nicht passiert.

Das Problem mit der Hitze
Die meisten Lampen versagen, weil sie den Temperaturschwankungen nicht standhalten können. Bei hohen Belastungen wird der Mittelpunkt der Lampe extrem heiß, während die Enden kühler bleiben. Diese Spannung führt dazu, dass das Glas bricht.
Um dieses Problem zu lösen, verwenden wir hochreinen synthetischen Quarz. Dieser dehnt oder schrumpft kaum im Vergleich zu billigerem Quarz. Zudem achten wir sehr genau auf die Dicke der Wände sowie auf die Vakuumdichtheit – damit die Lampe nicht einfach platzt, wenn sie schnell eingeschaltet wird.

Prüfung on Clear Infrared Heating Lamps

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