Sensor on Clear Infrared Heating Lamps

Intelligente Sensorverpackung Infrarot

Fri, 24 Jul 2026 11:54:41 +0800

Hören Sie auf, zuzulassen, dass defekte Lampen Ihre Waferproduktion ruinieren!
In einer Fabrik für die Herstellung von Halbleitern ist das Platzen einer Infrarotlampe ein echtes Albtraumszenario. Wenn einer dieser Quarztuben kaputtgeht, hört nicht nur die Wärmeabgabe auf – stattdessen werden die Wafer mit winzigen Glasstücken und chemischen Rückständen bedeckt. Ein einziger Defekt kann dazu führen, dass ganze Chargen von Siliziumwafern kontaminiert werden. Das ist eine Katastrophe – und es lässt sich völlig vermeiden.

Warum gehen die Lampen überhaupt kaputt?
Lampen mit hohem Leistungswert müssen ständig extremen Temperaturen und hohen Spannungslasten standhalten. Dadurch entsteht enormer Druck auf den Quarz. Irgendwann gibt der Quarz nach – die Tube zerbricht, das Vakuum verschwindet und der Glühfaden brennt aus. Wenn man ein offenes System verwendet, fallen all diese Schäden direkt auf die Wafer.

Präziser IR Sensor für Wafern

Thu, 23 Jul 2026 12:01:42 +0800

Warum IR-Heizung im Vergleich zu gezwungener Luftzirkulation Vorteile hat
Wer schon einmal in der Halbleiterfertigung gearbeitet hat, kennt die Frustration, die mit dem Warten einhergeht.
Lange Zeit haben wir uns auf gezwungene Luftzirkulation verlassen – im Grunde genommen wurde heißer Luft zugeführt, um das gewünschte Ergebnis zu erzielen. Doch dabei gibt es ein Problem: Man heizt zunächst die Luft auf, und anschließend muss diese Luft wiederum den Wafer erwärmen. Das ist wie versuchen, ein Haus zu erwärmen, indem man zuerst den Eingangsbereich erhitzt – es entsteht einfach zu viel Verzögerung.
IR-Heizung ändert das Ganze. Dadurch entfällt der „Mittelsmann“. Anstatt auf die Luft zu warten, nutzt man elektromagnetische Strahlung, um Energie direkt in das Substrat zu leiten.

Heizelement für die Herstellung von Wasserstoffsensoren

Mon, 20 Jul 2026 11:49:48 +0800

Sauber halten: Heizung für Wasserstoff-Sensoren
Beim Herstellen von Wasserstoff-Sensoren ist selbst ein einziger Staubkorn kein kleines Problem – es handelt sich dabei um einen Defekt. Wenn man in einem Reinraum der Klasse 100 arbeitet, möchte man auf keinen Fall, dass die Heizelemente Partikel oder Gase direkt auf die Arbeitsfläche abgeben. Deshalb haben wir auf metallisch beschichtete Heizungen verzichtet und stattdessen hochreine Quarz-IR-Lampen verwendet.

Warum Quarz?
Es geht dabei um die Art und Weise, wie die Wärme übertragen wird. Die meisten Heizungen erwärmen die Luft um sie herum – dadurch wird der Staub nur noch mehr aufgewirbelt. Doch diese aus geschmolzenem Quarz bestehenden Lampen funktionieren anders: Sie strahlen Kurzwellen-IR-Strahlung direkt in das Sensorsubstrat ab. Somit wird nur das Zielobjekt erhitzt, nicht der ganze Raum. Außerdem zerbröselt oder oxidiert Quarz im Laufe der Zeit nicht wie Keramiken oder Metalle. Er bleibt somit sauber.

Temperatursensor für Wafer Werkzeuge

Fri, 17 Jul 2026 08:14:21 +0800

Schutz der IR-Lampen in den Wafer-Reinigungsgeräten
Seien wir ehrlich: Die Verwendung von IR-Heizlampen in Wafer-Reinigungsgeräten ist ziemlich riskant – es ist, als würde man mit Feuer spielen. Wenn man von brennbaren oder sogar explosiven Chemikalien umgeben ist, kann bereits ein kleiner Funke oder ein beschädigtes Isolationsstück dazu führen, dass aus einem schlechten Tag ein totaler Desaster wird.

Deshalb installieren wir diese Lampen nicht einfach so. Wir umhüllen sie stattdessen mit einer luftdichten Abdeckung.

Verhindern von Funken
Standardmäßige IR-Lampen sind einfach nicht für die Bedingungen in chemischen Bädern geeignet. Um das zu lösen, verwenden wir einen mehrschichtigen Verschlusssystem, das die elektrischen Anschlüsse vollständig vor den Einflüssen der Chemikalien schützt. Wir setzen die Lampe in eine Hochreinigkeits-Qualzylinderhülle ein und verschließen diese anschließend mit industriellen Keramiken und Harzen, die unempfindlich gegenüber aggressiven Chemikalien sind. Dadurch werden die korrosiven Dämpfe daran gehindert, die Kabel zu zerstören oder mit dem Strom in Berührung zu kommen.

Trocknungsheizer für MEMS Sensoreiwafers

Sun, 12 Jul 2026 10:24:54 +0800

Wie man die MEMS-Wafern während des Trocknungsprozesses sauber hält
Wenn Sie in einem Reinraum der Klasse 100 arbeiten, kennen Sie sicherlich dieses Problem: Ein einziger Staubkorn oder ein fremder chemischer Gas kann dazu führen, dass die gesamte Charge nutzlos wird.

Das Problem ist, dass die meisten Heizelemente eigentlich ziemlich schmutzig sind. Wenn sie erhitzt werden, neigen sie dazu, mikroskopisch kleine Partikel abzugeben oder flüchtige organische Verbindungen freizusetzen – direkt auf die Waferoberfläche. Das ist eine Katastrophe, die nur darauf wartet, einzutreten.