Controller für digitale Infrarot Trockner

Mon, 27 Jul 2026 09:09:09 +0800

Wie man Halbleiter richtig trocknet – ohne Energie zu verschwenden
Wenn man mit Wafern arbeitet, muss die Feuchtigkeit so schnell wie möglich beseitigt werden. Doch wenn man zu aggressiv vorgeht, besteht die Gefahr, dass die Wafer beschädigt werden. Lange Zeit wurden dafür herkömmliche Konvektionsysteme verwendet – doch heute setzen wir auf digitale Infrarot-Trocknersteuerungen. Warum? Weil die alte Methode viel Energie verbraucht und lange zum Aufheizen benötigt. Der Umstieg auf digitale Steuerungen ist somit ein Weg zu einer effizienteren und umweltfreundlicheren Produktionsumgebung.

FOUP (Front Opening Unified Pod) Trockner

Sat, 06 Jun 2026 04:29:51 +0800

Auf dem Lithographie-Floor ist ein nasser FOUP, der aus dem Sink zurückkommt, ein Problem, das man eher spürt als sieht. Restfeuchtigkeit verursacht Softbake-Drift, Linienbreitenabweichungen und Ausschuss. Der FOUP muss knochentrocken sein, bevor er die Track-Anlage erreicht, und dieser trockene Zustand muss von Charge zu Charge reproduzierbar sein.

Technisch relevant

Wir zielen auf eine thermische Gleichmäßigkeit auf Wafer-Ebene von ±0,1°C über den gesamten Träger ab, damit jeder Wafer dasselbe thermische Budget erhält. Das Heizmodul verwendet kurzwellige Infrarotstrahlung durch Quarzfenster, was eine schnelle Sichtlinienreaktion ermöglicht und die thermische Verzögerung zwischen Sollwert und FOUP-Körper reduziert. Die Kammer ist für den Betrieb in Reinräumen der Klasse 1–100 ausgelegt, mit abgedichteten Nähten und einem laminar geführten Luftstrom, der während des Zyklus keine Partikel erzeugt.
Die Regelung erfolgt als Closed-Loop direkt an der FOUP-Schnittstelle, nicht am Heizblock. Das bedeutet, die angeforderte Temperatur ist die gemessene Temperatur dort, wo es entscheidend ist.

Trockner on Clear Infrared Heating Lamps

Controller für digitale Infrarot Trockner

FOUP (Front Opening Unified Pod) Trockner

Technisch relevant