Secadora FOUP (Contenedor Unificado de Apertura Frontal)

Sat, 06 Jun 2026 04:29:51 +0800

En el área de litografía, ese FOUP húmedo que regresa del lavabo es un problema que se siente antes de verlo. La humedad residual provoca desviaciones en el horneado suave, excursiones en el ancho de línea y desperdicio. Necesitas que el FOUP esté completamente seco antes de que llegue a la pista, y necesitas que ese estado seco sea repetible, lote tras lote.

Lo que importa, técnicamente

Nuestro objetivo es la uniformidad térmica a nivel de oblea dentro de ±0.1°C en todo el transportador, de modo que cada oblea reciba el mismo presupuesto térmico. El módulo calefactor utiliza infrarrojo de onda corta con ventanas de cuarzo, proporcionando una respuesta rápida y en línea de visión, reduciendo el retraso térmico entre el punto de ajuste y el cuerpo del FOUP. La cámara está diseñada para operación en sala limpia de Clase 1-100, con costuras selladas y un camino de aire laminar que mantiene la generación de partículas en cero durante el ciclo.
El control es en bucle cerrado justo en la interfaz del FOUP, no en el bloque calefactor. Eso significa que la temperatura que ordenas es la temperatura que mides donde importa.

Unificado on Clear Infrared Heating Lamps

Secadora FOUP (Contenedor Unificado de Apertura Frontal)

Lo que importa, técnicamente