http://clear-ir-lamp.com/fa/tags/%D8%A7%D8%B5%D9%88%D9%84/ Recent content in اصول on Clear Infrared Heating Lamps Hugo fa Thu, 25 Jun 2026 05:15:10 +0800 http://clear-ir-lamp.com/fa/posts/canon-lithography-heater-bulb/ Thu, 25 Jun 2026 05:15:10 +0800 http://clear-ir-lamp.com/fa/posts/canon-lithography-heater-bulb/ <p><img src="http://clear-ir-lamp.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="لامپ گرمکن لیتوگرافی کانون"></p> <p>در فرآیند لیتوگرافی، تغییر دمای حرارتی ۰.۵ درجه سانتی‌گراد، اصلاً یک انحراف کوچک محسوب نمی‌شود؛ بلکه باعث کاهش کیفیت محصول می‌شود. روش‌های پخت نرم و سخت، میزان انرژی حرارتی مورد نیاز برای کنترل ضخامت خطوط، میزان مواد حل‌شونده باقی‌مانده، و سایر پارامترهای مربوط به فرآیند را تعیین می‌کنند. وقتی که عملکرد لامپ گرمایشی ضعیف می‌شود، این موضوع بلافاصله مشخص می‌شود؛ یعنی باقی‌ماندن امواج الکترومغناطیسی، کاهش قدرت چسبندگی، و اختلالاتی که باعث متوقف شدن فرآیند می‌شوند.</p> <p><strong>از نظر فنی، چه چیزهایی اهمیت دارد؟</strong><br> ما مشخصات لامپ گرمایشی کانون را بر اساس یکنواختی حرارتی در سطح ویفر تعیین می‌کنیم؛ هدف ما، داشتن استابیلیته دمایی در حد ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد در طول فرآیند پخت است. منبع هالوژنی مورد استفاده نیز با پروفایل جذب مواد فوتورزیست مطابقت دارد؛ بنابراین امکان افزایش سریع و قابل تکرار دما وجود دارد، بدون اینکه اختلالاتی ایجاد شود. ساختار کوارتزی و پوشش دربسته، از خروج گازها و تولید ذرات جلوگیری می‌کند؛ بنابراین این لامپ‌ها با شرایط اتاق‌های تمیز از کلاس ۱ تا کلاس ۱۰۰ سازگار هستند.</p>