http://clear-ir-lamp.com/fa/tags/%D8%AC%D9%84%D9%88%DB%8C/ Recent content in (جلوی on Clear Infrared Heating Lamps Hugo fa Sat, 06 Jun 2026 04:29:52 +0800 http://clear-ir-lamp.com/fa/posts/foup-front-opening-unified-pod-dryer/ Sat, 06 Jun 2026 04:29:52 +0800 http://clear-ir-lamp.com/fa/posts/foup-front-opening-unified-pod-dryer/ <p><img src="http://clear-ir-lamp.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="خشککن FOUP (کپسول یکپارچه با درِ جلویی)"></p> <p>در طبقه لیتوگرافی، آن FOUP مرطوب که از سینک بازمی‌گردد، مشکلی است که قبل از دیدن آن، احساس می‌کنید. رطوبت باقی‌مانده باعث انحراف در پخت نرم، تغییرات در عرض خط و ضایعات می‌شود. شما به FOUP کاملاً خشک نیاز دارید قبل از اینکه به ریل برسد و نیاز دارید که این حالت خشک قابل تکرار باشد، بار بعد بار.</p> <h2 id="آنچه-از-نظر-فنی-مهم-است">آنچه از نظر فنی مهم است</h2> <p>ما هدف‌گذاری می‌کنیم تا یکنواختی حرارتی در سطح ویفر در ±0.1°C در سراسر حامل داشته باشیم تا هر ویفر همان بودجه حرارتی را دریافت کند. ماژول هیتر از تابش مادون قرمز کوتاه‌موج با پنجره‌های کوارتز استفاده می‌کند که پاسخ سریع و خط دید به وجود می‌آورد و تأخیر حرارتی بین نقطه تنظیم و بدنه FOUP را کاهش می‌دهد. این محفظه برای عملیات اتاق تمیز کلاس 1–100 ساخته شده است، با درزهای مهر و موم شده و مسیری هوای لامیناری که تولید ذرات را در طول چرخه به صفر نگه می‌دارد.</p>