http://clear-ir-lamp.com/fa/tags/semiconductor/ Recent content in Semiconductor on Clear Infrared Heating Lamps Hugo fa Sun, 31 May 2026 05:11:13 +0800 http://clear-ir-lamp.com/fa/posts/thermocouple-for-semiconductor-heater/ Sun, 31 May 2026 05:11:13 +0800 http://clear-ir-lamp.com/fa/posts/thermocouple-for-semiconductor-heater/ <p><img src="http://clear-ir-lamp.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="ترموکوپل برای هیتر نیمههادی"></p> <p>در کف وِیفر، کنترل‌کننده دما عدد 120.0°C را نشان می‌دهد. وِیفر روی صفحه گرم‌کننده قرار دارد و منتظر پخت نرم است که پروفیل فوتورزیست را تثبیت می‌کند. اما نمایشگر کنترل‌کننده تنها یک وعده است. بدون یک ترموکوپل که دمای واقعی تحویل داده شده توسط هیتر در سطح وِیفر را اندازه‌گیری کند، آن وعده حدس است. انحراف 2°C در طول پخت می‌تواند دمای انتقال شیشه‌ای فوتورزیست (Tg) را تغییر دهد، بازتاب را تغییر دهد و به آرامی کنترل عرض خطوط را مختل کند. هیچ کس برای تلاش کردن امتیازی نمی‌گیرد. فرایند یا بودجه حرارتی را رعایت می‌کند یا نمی‌کند.<br> ترموکوپل روی هیترهای نیمه‌هادی چیزی فراتر از یک گزینه اختیاری است. این نقطه اندازه‌گیری است که انرژی حرارتی را به ورودی فرآیند قابل تکرار تبدیل می‌کند. در مسیرهای لیتوگرافی، ماژول‌های پوشش/پخت و ابزارهای باندینگ وِیفر، تفاوت بین یک پخت پایدار و یک پخت حاشیه‌ای معمولاً به کیفیت حلقه بازخورد دما بستگی دارد. و آن حلقه تنها به اندازه حسگری که آن را تغذیه می‌کند خوب است.</p>