http://clear-ir-lamp.com/fr/tags/pod/ Recent content in Pod) on Clear Infrared Heating Lamps Hugo fr Sat, 06 Jun 2026 04:29:51 +0800 http://clear-ir-lamp.com/fr/posts/foup-front-opening-unified-pod-dryer/ Sat, 06 Jun 2026 04:29:51 +0800 http://clear-ir-lamp.com/fr/posts/foup-front-opening-unified-pod-dryer/ <p><img src="http://clear-ir-lamp.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Sècheuse FOUP (Pod Unifié à Ouverture Frontal)"></p> <p>Sur la <a href="https://goldisgood.com">ligne</a> de lithographie, ce FOUP humide qui revient du bassin est un problème perceptible avant même de le voir. L’humidité résiduelle provoque des dérives lors du soft bake, des variations de largeur de trait et du rebut. Il faut que le FOUP soit parfaitement sec avant d’atteindre la piste, et cet état de sécheresse doit être reproductible, lot après lot.</p> <h2 id="ce-qui-compte-techniquement">Ce qui compte, techniquement</h2> <p>Nous visons une uniformité thermique au niveau du wafer dans une plage de ±0,1°C à travers le porte-échantillons afin que chaque wafer subisse le même budget thermique. Le module chauffant utilise un infrarouge à ondes courtes avec fenêtres en quartz, offrant une réponse rapide en ligne de mire et réduisant le décalage thermique entre la consigne et le corps du FOUP. La chambre est conçue pour un fonctionnement en salle blanche Classe 1–100, avec des joints étanches et un flux d’air laminaire qui maintient la génération de particules à zéro pendant le cycle.</p>