http://clear-ir-lamp.com/he/tags/%D7%9C%D7%99%D7%98%D7%95%D7%92%D7%A8%D7%A4%D7%99%D7%94/ Recent content in ליטוגרפיה on Clear Infrared Heating Lamps Hugo he Thu, 25 Jun 2026 05:15:10 +0800 http://clear-ir-lamp.com/he/posts/canon-lithography-heater-bulb/ Thu, 25 Jun 2026 05:15:10 +0800 http://clear-ir-lamp.com/he/posts/canon-lithography-heater-bulb/ <p><img src="http://clear-ir-lamp.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="נורת חימום לטכנולוגיית ליתוגרפיה של קאנון"></p> <p>בתהליך הליתוגרפיה, שינוי של 0.5°C בטמפרטורת החימום אינו נחשב ל“סטייה קטנה“. זו סטייה שפוגעת באיכות התוצאה. תהליכי החימום השונים קובעים את התנאים התרמיים שמשפיעים על איכות הקווים שנוצרים, על שיעור החומרים שנשארים על הצלחת, ועל כמות החומרים המוסרים מהצלחת. כאשר הנורה שמשמשת לחימום מתחילה לתפקד בצורה לא טובה, ניתן לראות זאת מיד – ישנם שאריות של חומרים על הצלחת, ירידה ביכולת ההידבקות של החומרים, ושינויים בטמפרטורה שגורמים לקווים להפסיק להיות ישרים.</p> <p><strong>מה חשוב מבחינה טכנית?</strong> אנו קובעים את ערכי הוואטים, המתח והגאומטריה של נורת החימום של קנון, כך שהתנאים התרמיים יהיו עקביים – ברמה של ±0.1°C על פני כל שטח הצלחת, ברגע שהתהליך נמצא במצב יציב. מקור ההלוגן מותאם לפרופיל הספיגה של חומרי הפוטורזיסט הנפוצים, כך שניתן להשיג עלייה מהירה וחזרתית בטמפרטורה, ללא סטיות. הבנייה של הנורה מקוורץ והמעטפת האטומה שלה מונעים פליטת גזים וייצור של חלקיקים – כך שהנורה מתאימה לשימוש בחדרים נקיים מסוג Class 1 עד Class 100.</p>