http://clear-ir-lamp.com/he/tags/%D7%A4%D7%AA%D7%99%D7%97%D7%94/ Recent content in פתיחה on Clear Infrared Heating Lamps Hugo he Sat, 06 Jun 2026 04:29:52 +0800 http://clear-ir-lamp.com/he/posts/foup-front-opening-unified-pod-dryer/ Sat, 06 Jun 2026 04:29:52 +0800 http://clear-ir-lamp.com/he/posts/foup-front-opening-unified-pod-dryer/ <p><img src="http://clear-ir-lamp.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="מייבש FOUP (יחידת פוד אחודה עם פתיחה קדמית)"></p> <p>בקומת הליטוגרפיה, ה-FOUP הרטוב שמגיע מהכיור הוא בעיה שניתן להרגיש לפני שרואים אותה. לחות שנותרה גורמת לסטיה בתהליך ה-soft bake, לחריגות בקווי רוחב ולפסולת. יש לוודא שה-FOUP יבש לחלוטין לפני שהוא נפגש עם המסלול, ושהמצב היבש יישמר בצורה קונסיסטנטית מפעם לפעם, מחבילה לחבילה.</p> <h2 id="מה-שחשוב-מבחינה-טכנית">מה שחשוב, מבחינה טכנית</h2> <p>אנו שואפים ליציבות תרמית ברמת התקן של wafer ±0.1°C לאורך כל המנשא, כך שכל wafer ייחשף לאותו תקציב תרמי. מודול החימום משתמש בגלי אינפרא-אדום קצרים עם חלונות קוורץ, מה שמאפשר תגובה מהירה בקו-ראייה ומצמצם את ההשהייה התרמית בין נקודת ההגדרה לגוף ה-FOUP. החדר בנוי לתפעול בכיתה 1–100 של חדר נקי, עם תפרים אטומים וזרימת אוויר למינרית שמונעת פליטת חלקיקים בזמן המחזור.</p>