http://clear-ir-lamp.com/he/tags/bake/ Recent content in Bake on Clear Infrared Heating Lamps Hugo he Thu, 18 Jun 2026 04:48:21 +0800 http://clear-ir-lamp.com/he/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ Thu, 18 Jun 2026 04:48:21 +0800 http://clear-ir-lamp.com/he/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ <p><img src="http://clear-ir-lamp.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="מנורת אפייה לחומרי עמידות באור UV עמוק (DUV)"></p> <p>בתהליך הליתוגרפיה, תהליכי החימום של החומר הפוטורזיסטיבי אינם רק צעדים להכנת החומר – הם גם קובעים את הממדים הקריטיים של המוצר הסופי. שינוי של 0.3°C בטמפרטורה על פני הוופר יכול לגרום לכך שהרוחבים של הקווים יסטו מהערכים הרצויים, וכתוצאה מכך כל המוצרים יהיו לא תקינים. לכן פיתחנו נורה לחימום החומר הפוטורזיסטיבי באמצעות אור UV, כדי לשלוט בטמפרטורה בצורה מדויקת.</p> <p><strong>מה חשוב מבחינה טכנית?</strong> הנורה משתמשת בחימום באמצעות אור אינפרא-אדום קרוב, כדי ליצור שדה תרמי אחיד – ±0.1°C על פני כל שטח הוופר. כך ניתן להשיג עקביות בין סדרות הייצור השונות, מכיוון שהפלט של הנורה נשלט באופן אוטומטי, ולא על סמך קריאות של תרמוקפל. כתוצאה מכך, טמפרטורת החימום נשארת קבועה, בין אם מדובר בייצור סדרתי או בייצור בכמויות קטנות.</p>