http://clear-ir-lamp.com/he/tags/semiconductor/ Recent content in Semiconductor on Clear Infrared Heating Lamps Hugo he Sun, 31 May 2026 05:11:13 +0800 http://clear-ir-lamp.com/he/posts/thermocouple-for-semiconductor-heater/ Sun, 31 May 2026 05:11:13 +0800 http://clear-ir-lamp.com/he/posts/thermocouple-for-semiconductor-heater/ <p><img src="http://clear-ir-lamp.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="תרמופל למחמם מוליך למחצה"></p> <p>על רצפת ה-wafer, בקר הטמפרטורה מציג 120.0°C. ה-wafer מונח על הפלטה המחוממת, ממתין ל-soft bake שמגדיר את פרופיל ה-photoresist. אך תצוגת הבקר היא רק התחייבות. ללא תרמוקפל שימדוד מה שהמחמם באמת מספק במישור ה-wafer, ההתחייבות הזו היא השערה בלבד. סטייה של 2°C במהלך האפייה עלולה להזיז את Tg של ה-photoresist, לשנות את הרפלקטיביות, ולפגוע בשקט בשליטה על רוחב הקווים. אף אחד לא מקבל קרדיט על הניסיון. התהליך או עומד במסגרת התקציב התרמי, או שלא.</p> <p>התרמוקפל במחממי מוליכים למחצה אינו פריט מותרות. הוא עוגן המדידה שהופך אנרגיה תרמית לקלט תהליך שניתן לשחזור. במסלולי ליתוגרפיה, במודולי ציפוי/אפייה ובכלי הדבקת <a href="https://goldisgood.com">wafer</a>, ההבדל בין אפייה יציבה לאפייה שולית לרוב נובע מאיכות לולאת המשוב של הטמפרטורה. ולולאה זו טובה ככל שהחיישן המזין אותה.</p>