http://clear-ir-lamp.com/id/tags/foup/ Recent content in FOUP on Clear Infrared Heating Lamps Hugo id Sat, 06 Jun 2026 04:29:52 +0800 http://clear-ir-lamp.com/id/posts/foup-front-opening-unified-pod-dryer/ Sat, 06 Jun 2026 04:29:52 +0800 http://clear-ir-lamp.com/id/posts/foup-front-opening-unified-pod-dryer/ <p><img src="http://clear-ir-lamp.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Pengering FOUP (Front Opening Unified Pod)"></p> <p>Di lantai litografi, FOUP basah yang kembali dari sink adalah masalah yang dapat Anda rasakan sebelum Anda lihat. Sisa kelembapan menyebabkan pergeseran soft bake, penyimpangan lebar garis, dan scrap. FOUP harus benar-benar kering sebelum masuk ke track, dan kondisi kering itu harus dapat diulang, lot demi lot.</p> <h2 id="apa-yang-penting-secara-teknis">Apa yang penting secara teknis</h2> <p>Kami menargetkan keseragaman termal tingkat wafer dalam rentang ±0,1°C di seluruh carrier agar setiap wafer mendapatkan beban termal yang sama. Modul pemanas menggunakan inframerah gelombang pendek dengan jendela kuarsa, memberikan respons cepat berjenis garis pandang dan mengurangi keterlambatan termal <a href="https://o-yate.com">antara</a> setpoint dan <a href="https://goldisgood.com">badan</a> FOUP. Chamber <a href="https://o-yate.net">dirancang</a> untuk operasi cleanroom Kelas 1–100, dengan sambungan tersegel dan jalur udara laminar yang menjaga partikel agar tidak muncul selama siklus.</p>