Elemento riscaldante di ricambio Aixtron

Mon, 29 Jun 2026 07:43:27 +0800

A terra, una camera MOCVD di Aixtron richiede un controllo della temperatura estremamente preciso, affinché l’epitassia avvenga secondo i parametri previsti. Se l’elemento riscaldante non funziona correttamente, la ripetibilità dei processi diminuisce notevolmente. Si verificano variazioni nella temperatura del wafer, nonché un aumento dei difetti presenti sullo stesso. Non si può permettere di aspettare troppo a lungo prima di intervenire.

Quello che conta davvero
Noi produciamo componenti di ricambio per gli elementi riscaldanti di Aixtron, in modo che possano adattarsi perfettamente al comportamento termico della camera stessa. La geometria dei componenti è studiata apposta per adattarsi alla zona di riscaldamento; inoltre, scegliamo materiali che reagiscono rapidamente e mantengono una resistenza costante nel tempo. In questo modo si ottiene una uniformità della temperatura del wafer pari a ±0,1°C durante tutto il ciclo di riscaldamento, garantendo così risultati costanti da un lotto all’altro.

Aixtron on Clear Infrared Heating Lamps

Elemento riscaldante di ricambio Aixtron