Lampada RTP di alta qualità per fabbrica

Tue, 09 Jun 2026 03:58:46 +0800

Sulla linea di produzione, il funzionamento 7×24 non tollera derive. Un solo malfunzionamento della lampada e la soft bake deriva. L’uniformità del CD ne risente. Il lotto successivo finisce in quarantena. Abbiamo progettato questa lampada RTP per eliminare questo rischio.

Cosa conta, tecnicamente:
L’unità utilizza lampade alogene a onde corte in un assemblaggio sigillato in quarzo, trasferendo calore precisamente dove serve, rapidamente, in modo direzionale e con un controllo spettrale rigoroso. Nell’intervallo di processo, l’uniformità della temperatura a livello wafer si mantiene entro ±0,1°C, garantendo profili di soft bake e hard bake ripetibili, lotto dopo lotto. È compatibile con cleanroom di Classe 1–100 e abbiamo verificato l’assenza di generazione di particelle direttamente nel punto di utilizzo. Sotto carico produttivo, il sistema termico mantiene la stabilità del setpoint, assicurando un budget termico costante durante la fase di patterning e bake.

In Cima on Clear Infrared Heating Lamps

Lampada RTP di alta qualità per fabbrica