クリーンルーム用赤外線ヒーター

Fri, 24 Jul 2026 12:16:14 +0800

クリーンルームが十分に温まるのを待って時間を無駄にするのはやめましょう。
半導体の高度な加工を行っている人なら、その「待ち時間」の苦しさをよく知っているでしょう。つまり、熱循環の中で何もせずに待っているという状況です。
ほとんどの装置では強制送風が使われていますが、これは非常に遅いプロセスです。空気を温めてから、その空気がチャンバー内を温め、最終的にウェハーが温度上昇します。これは一連の連鎖反応であり、時間を浪費してしまいます。
簡単な解決策は？赤外線です。
赤外線ヒーターは、その中間段階を省略します。空気を操作する代わりに、電磁波を直接対象物に送り込みます。
初めて使ってみると、本当に素晴らしい感覚です。ファンが部屋の温度を安定させるのを待つ必要がなく、数秒で所定の温度に到達します。これにより、処理時間を短縮し、より多くのウェハーを処理できます。
さらに、清掃の面でもメリットがあります。強制送風では、ファンがほこりや微粒子を舞い上げてしまいます。最も優れたHEPAフィルターを使っても、空気が動くこと自体がシリコンウェハーにとって危険です。一方、赤外線ヒーターは静的で、動く部分もなく、乱流も起こりません。複雑な空気流の制御装置も不要で、床面積も節約できます。
しかし、これは魔法の杖ではありません。注意すべき点がいくつかあります。
赤外線は方向性があるため、複雑な3D形状の物体を扱う場合は、「設定しておけば終わり」というわけにはいきません。深い部分は冷たく残り、表面だけが加熱される「影の効果」が発生します。均一な加熱を実現するためには、反射板の角度やランプの配置を慎重に考える必要があります。
また、赤外線の効果が非常に迅速なため、制御システムもそれに追従できる必要があります。PID制御が遅かったり、規模が大きすぎると、気づく前に温度が過剰に上昇してしまいます。そのため、高速なセンサーや電力制御装置が必要です。
最初は少し手間がかかりますが、得られる速さはそれに見合っています。

クリーンルーム用オーブン・赤外線ヒーター

Tue, 14 Jul 2026 10:33:06 +0800

クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために
クラス100の環境で作業する際、加熱というのは単に適切な温度を維持するだけではありません。これは、微小な粒子との戦いでもあるのです。
一般的な加熱素子は、このような環境では役に立ちません。それらは目に見えないほど微細な粒子を放出し、ウェーハや光学部品を破壊してしまいます。私たちは、高純度の融結石英製の赤外線ランプを使用してこの問題に対処しています。

きれい on Clear Infrared Heating Lamps

クリーンルーム用赤外線ヒーター

クリーンルーム用オーブン・赤外線ヒーター