http://clear-ir-lamp.com/ja/tags/%E3%82%A2%E3%82%A4%E3%82%AF%E3%82%B9%E3%83%88%E3%83%AD%E3%83%B3/ Recent content in アイクストロン on Clear Infrared Heating Lamps Hugo ja Mon, 29 Jun 2026 07:43:27 +0800 http://clear-ir-lamp.com/ja/posts/aixtron-heater-element-spare/ Mon, 29 Jun 2026 07:43:27 +0800 http://clear-ir-lamp.com/ja/posts/aixtron-heater-element-spare/ <p><img src="http://clear-ir-lamp.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="アイクストロン・ヒーター素子の交換用部品"></p> <p>床に設置されているAixtronのMOCVDチャンバーでは、エピタキシャル成長を所定の条件で維持するために、正確な温度制御が不可欠です。ヒーター要素の性能が低下すると、再現性が悪くなります。設定値が変動したり、ウェーハの温度が均一でなくなったり、欠陥の数が増えてしまいます。このような問題を解決するのを待っている余裕はありません。</p>