http://clear-ir-lamp.com/ja/tags/%E3%82%AD%E3%83%A4%E3%83%8E%E3%83%B3/ Recent content in キヤノン on Clear Infrared Heating Lamps Hugo ja Thu, 25 Jun 2026 05:15:10 +0800 http://clear-ir-lamp.com/ja/posts/canon-lithography-heater-bulb/ Thu, 25 Jun 2026 05:15:10 +0800 http://clear-ir-lamp.com/ja/posts/canon-lithography-heater-bulb/ <p><img src="http://clear-ir-lamp.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="キヤノンのリソグラフィー用ヒーターバルブ"></p> <p>リソグラフィーの工程において、ベイク温度が0.5℃だけ変動しても、それは「わずかな偏差」とは言えません。これは製品の歩留まりに悪影響を与えます。ソフトベイクやハードベイクによって、線幅の制御やスカムマージン、残留する溶剤量が決定されます。ヒーターバルブの性能が低下し始めると、すぐに問題が現れます。例えば、<a href="https://henruite.com">定在波</a>による残留物や接着力の低下、そして線が途切れてしまうことです。</p>