http://clear-ir-lamp.com/ja/tags/%E3%82%AF%E3%82%A9%E3%83%BC%E3%83%84/ Recent content in クォーツ on Clear Infrared Heating Lamps Hugo ja Wed, 03 Jun 2026 10:18:27 +0800 http://clear-ir-lamp.com/ja/posts/quartz-sleeve-for-fab-ir-lamp/ Wed, 03 Jun 2026 10:18:27 +0800 http://clear-ir-lamp.com/ja/posts/quartz-sleeve-for-fab-ir-lamp/ <p><img src="http://clear-ir-lamp.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="ファブIRランプ用クォーツスリーブ"></p> <p>ファブフロアでは、ソフトベイクおよびハードベイクにおいて温度変動は許されない。ウェーハ全体で2℃のホットスポットが<a href="https://goldisgood.com">発生</a>すると、ライン幅の偏差が生じてロット全体が廃棄される可能性がある。そこで、ファブ用IRランプのクォーツスリーブを開発し、熱予算の不確実性を排除した。</p> <p><strong>内部で<a href="https://o-yate.net">重要</a>なポイント</strong><br> スリーブには高純度クォーツを採用している。これは短波長から中波長のIR帯域で安定した透過率を保持し、急速な熱サイクルにおいても熱膨張特性が形状を維持するためである。その結果、ベイク面全体で±0.1℃以内のウェーハレベル均一性を実現し、感光剤のプロファイルがロット間で再現される。クリーンルーム規格Class 1–100に対応し、粒子発生ゼロの層流放射加熱を想定した設計で、アウトガスや剥離、汚染が発生しない。</p>