http://clear-ir-lamp.com/ja/tags/%E3%82%BB%E3%83%B3%E3%82%B5%E3%83%BC/ Recent content in センサー on Clear Infrared Heating Lamps Hugo ja Fri, 24 Jul 2026 11:54:41 +0800 http://clear-ir-lamp.com/ja/posts/preventing-wafer-contamination-via-infrared-lamp-safety-packaging/ Fri, 24 Jul 2026 11:54:41 +0800 http://clear-ir-lamp.com/ja/posts/preventing-wafer-contamination-via-infrared-lamp-safety-packaging/ <p><img src="http://clear-ir-lamp.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="スマートセンサーパッケージング インフラーアレッド"></p> <p>もう、故障したランプによってウェーハの歩留まりが低下することは許しましょう。<br> 大量生産を行う半導体工場において、赤外線ランプが故障するのは本当に最悪の事態です。<br> その石英管が壊れると、熱の供給だけでなく、細かいガラスの破片や化学物質もウェーハに付着してしまいます。一度でも故障すれば、一括でシリコンウェーハが汚染されてしまいます。これは大変な問題であり、費用もかかりますが、実際には避けることができます。</p> http://clear-ir-lamp.com/ja/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Thu, 23 Jul 2026 12:01:42 +0800 http://clear-ir-lamp.com/ja/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://clear-ir-lamp.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="ウェーハ用高精度IRセンサー"></p> <p>なぜファブでは赤外線加熱が強制送風より優れているのか 半導体製造に携わったことがある人なら、待つという<a href="https://goldisgood.com">苦痛</a>を知っているはずです。 長年にわたり、私たちは強制送風に頼ってきました。つまり、熱い空気を送って作業を進めるわけです。しかし、これには問題があります。まず空気を加熱し、その後でその空気がウェーハを加熱するのです。まるで、まず駐車場を温めてから家全体を温めようとするようなものです。<a href="https://henruite.com">時間</a>がかかりすぎます。 赤外線加熱なら、この問題を解決します。中間媒体を排除し、空気を待つ必要がなく、電磁波を使ってエネルギーを直接基板に送り込むのです。 <strong>時間は常に進んでいく</strong> この業界では、時間は買うことのできない唯一の資源です。強制送風を使うと、熱ショックを恐れて、長い準備時間や冷却時間が必要になります。とても遅いのです。 一方、赤外線ランプなら、数秒で目標温度に到達します。 これこそが迅速加熱処理（RTP）の利点です。赤外線は表面を透過するため、熱がほぼ瞬時に伝わります。部屋全体が温まるのを待つ必要はありません。すぐに処理を開始できます。 <strong><a href="https://o-yate.com">実際</a>に反応性の高い制御</strong> 最も良い点の一つは制御性です。精密な赤外線センサーを使って、ウェーハの表面を常に監視します。温度が変動した場合、コントローラーが即座に出力を調整します。オーバーシュートはありません。 強制送風と比べると、空気には「熱慣性」があります。空気が非常に熱くなってしまうと、スイッチを切っただけでは冷めません。赤外線を使えば、急激な<a href="https://o-yate.net">温度勾配</a>を作り出し、素早く熱を取り除くことができます。まるで手術のようです。 <strong>現実的な課題</strong> もちろん、赤外線加熱が完璧だと言っているわけではありません。いくつかの問題点もあります。 最大の問題は、視線の方向です。ウェーハの形状が奇妙だったり、何かが光を遮ったりすると、冷たい部分ができてしまいます。均一に加熱するためには、ランプの配置を慎重に考える必要があります。 また、出力密度が高いため、冷却装置を怠ってはいけません。そうしないと、他の機器も壊れてしまいます。 でも正直なところ、このトレードオフは明らかです。ほとんどの大量生産ラインでは、既に赤外線加熱に切り替えています。20分かかっていた加熱処理を20秒に短縮できるのですから、もう元には戻りません。</p> http://clear-ir-lamp.com/ja/posts/hydrogen-sensor-fabrication-heater/ Mon, 20 Jul 2026 11:49:48 +0800 http://clear-ir-lamp.com/ja/posts/hydrogen-sensor-fabrication-heater/ <p><img src="http://clear-ir-lamp.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="水素センサー製造用ヒーター"></p> <h1 id="清潔を保つ水素センサー用の加熱装置">清潔を保つ：水素センサー用の加熱装置</h1> <p>水素センサーを製造する際、わずかなほこりでさえも問題となります。それは単なる迷惑どころか、センサーの故障の原因にもなり得ます。クラス100のクリーンルームで作業している場合、加熱要素から粒子やガスが発生し、作業場に散らばることは<a href="https://henruite.com">絶対</a>に避けたいのです。そのため、私たちは金属製のヒーターを使用せず、高純度の石英製のIRランプを採用しました。</p> http://clear-ir-lamp.com/ja/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Fri, 17 Jul 2026 08:14:22 +0800 http://clear-ir-lamp.com/ja/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://clear-ir-lamp.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="ウェーハ処理装置用の温度センサー"></p> <p>ウェーハ処理装置内でのIRランプの安全な取り扱いについて<br> 正直に言うと、IR加熱ランプをウェーハ洗浄装置の中に設置するのは、まるで<a href="https://henruite.com">火遊</a>びのようなものです。可燃性のある化学物質や、さらに悪いことに爆発性のある化学物質が周囲にある状態では、わずかな火花や<a href="https://o-yate.com">絶縁体</a>の破損だけで、大惨事につながり得ます。<br> そのため、私たちは単にそのランプを設置するだけではありません。厳密な密封処理を施して、外部の影響からランプを守ります。</p> http://clear-ir-lamp.com/ja/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Sun, 12 Jul 2026 10:24:55 +0800 http://clear-ir-lamp.com/ja/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://clear-ir-lamp.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="MEMSセンサウェハ乾燥ヒーター"></p> <p>乾燥処理中にMEMSウェーハをきれいな状態に保つために<br> もし、クラス100のクリーンルームを使用しているのであれば、その悩みはよくご存知でしょう。ほんのわずかなほこりや化学物質の蒸気があっても、そのロット全体が台無しになってしまいます。</p>