http://clear-ir-lamp.com/ja/tags/%E6%B7%B1%E3%81%84/ Recent content in 深い on Clear Infrared Heating Lamps Hugo ja Thu, 18 Jun 2026 04:48:21 +0800 http://clear-ir-lamp.com/ja/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ Thu, 18 Jun 2026 04:48:21 +0800 http://clear-ir-lamp.com/ja/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ <p><img src="http://clear-ir-lamp.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="深紫外線 DUV レジスト焼成ランプ"></p> <p>リソグラフィ工程において、ソフトベイクやハードベイクというのは、単に「フォトレジストを硬化させる」という単純な工程ではありません。これらの工程は、回路の寸法精度を決定する重要な要素です。ウェーハの温度が0.3℃だけ変動しても、<a href="https://o-yate.com">線幅</a>が規格外になり、結果として全ての製品が廃棄されてしまいます。そこで、私たちはDUV抵抗体を用いたベイクランプを開発し、このような問題を解決しました。</p>