http://clear-ir-lamp.com/ja/tags/%E7%86%B1%E9%9B%BB%E5%AF%BE/ Recent content in 熱電対 on Clear Infrared Heating Lamps Hugo ja Sun, 31 May 2026 05:11:13 +0800 http://clear-ir-lamp.com/ja/posts/thermocouple-for-semiconductor-heater/ Sun, 31 May 2026 05:11:13 +0800 http://clear-ir-lamp.com/ja/posts/thermocouple-for-semiconductor-heater/ <p><img src="http://clear-ir-lamp.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="半導体ヒーター用熱電対"></p> <p>ウェハフロア上で、温度コントローラは120.0℃を示している。ウェハはホットプレート上に置かれ、フォトレジストのプロファイルを設定するソフトベイクを待っている。しかし、コントローラの表示はあくまで「約束」にすぎない。ヒーターが実際にウェハ面で供給している温度を測定する熱電対がなければ、その約束は推測に過ぎない。ベイク中の2℃の温度変動はフォトレジストのガラス転移温度（Tg）を変化させ、反射率を変え、ライン幅制御を密かに破壊する。試みたことに対して評価されることはない。工程は熱予算を達成するか否かのどちらかだ。 半導体ヒーターにおける熱電対は「あれば良い」ものではない。熱エネルギーを再現可能な工程入力に変える測定の基準点である。リソグラフィートラック、コート・ベイクモジュール、ウェハボンディング装置において、安定したベイクとギリギリのベイクの差は通常、温度フィードバックループの品質に起因する。そして、そのループはそれを供給するセンサーの性能に依存する。</p>