http://clear-ir-lamp.com/ja/tags/mems/ Recent content in MEMS on Clear Infrared Heating Lamps Hugo ja Sun, 12 Jul 2026 10:24:55 +0800 http://clear-ir-lamp.com/ja/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Sun, 12 Jul 2026 10:24:55 +0800 http://clear-ir-lamp.com/ja/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://clear-ir-lamp.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="MEMSセンサウェハ乾燥ヒーター"></p> <p>乾燥処理中にMEMSウェーハをきれいな状態に保つために<br> もし、クラス100のクリーンルームを使用しているのであれば、その悩みはよくご存知でしょう。ほんのわずかなほこりや化学物質の蒸気があっても、そのロット全体が台無しになってしまいます。</p>