왜 모든 웨이퍼 히터를 스트레스 테스트하는가?
반도체 분야에서는 아주 작은 전기 누설만으로도 전체 실리콘 제품군이 폐기될 수 있습니다. 이는 정말 끔찍한 상황입니다. 우리는 에너지 효율을 높이고 온도를 안정적으로 유지하기 위해 웨이퍼 히터를 설계하지만, 진짜 문제는 열 자체가 아니라 절연 성능입니다.
HiPot 테스트의 진실
우리는 단순히 샘플만 테스트하지 않습니다. 10개 중 1개만 테스트하고 나머지는 그대로 사용하는 식으로는 안 됩니다.
우리가 만드는 모든 가열 요소는 공장을 떠나기 전에 반드시 완전한 전압 내성 테스트와 절연 저항 테스트를 거칩니다. 모든 제품이 그렇습니다.
그 이유는 가열 요소가 가장 민감한 소자들 옆에 위치하기 때문입니다. 세라믹에 아주 작은 균열이 생기거나 포팅 컴파운드에 결함이 있으면, 전류가 케이스 내부로 누설됩니다. 그러면 온도가 급격히 변동하게 되거나, 최악의 경우 컨트롤러가 손상될 수도 있습니다.
공장에서 절연 성능을 극한까지 시험함으로써, 문제가 있는 제품들이 고객의 기계에 도달하기 전에 미리 발견할 수 있습니다.
고밀도 열 처리의 균형
에너지 효율을 높이려면 보통 더 작은 공간에 더 많은 에너지를 집중시켜야 합니다. 우리는 고순도 세라믹과 특수 합금을 사용하여 열이 웨이퍼가 있는 곳에 정확히 집중되도록 합니다.
하지만 문제가 있습니다.
열 밀도가 높아지면 절연 성능에 더 많은 부담이 가해집니다. 히터의 온도가 실온에서 수백 도로 상승하면 재료들이 팽창하고 수축합니다. 이는 지속적인 기계적 스트레스를 의미합니다. 시간이 지나면서 이러한 스트레스로 인해 전류가 누설될 수 있습니다. 우리의 절연 성능 테스트는 절연체가 이러한 스트레스를 견딜 수 있는지 확인하는 방법입니다.
설치 시 주의할 점
이러한 히터들이 시스템에 설치된 후에는 남은 것은 배선에 달려 있습니다. 깨끗한 접지가 필요합니다. 설비 자체의 접지 상태가 좋지 않으면, 우리가 구축한 모든 안전 장치가 무용지물이 됩니다. 또한, 케이블도 반드시 확인해야 합니다. 작동 온도를 고려하여 케이블이 적절한 성능을 가지고 있는지 확인해야 합니다. 그렇지 않으면 터미널 부분에서 절연체가 녹아버릴 수 있습니다.