http://clear-ir-lamp.com/ko/tags/%EB%8C%80/ Recent content in 대 on Clear Infrared Heating Lamps Hugo ko Thu, 04 Jun 2026 03:57:09 +0800 http://clear-ir-lamp.com/ko/posts/infrared-vs-convection-for-wafer-drying/ Thu, 04 Jun 2026 03:57:09 +0800 http://clear-ir-lamp.com/ko/posts/infrared-vs-convection-for-wafer-drying/ <p><img src="http://clear-ir-lamp.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="적외선 대 대류 웨이퍼 건조"></p> <p>제조 현장에서 웨이퍼 건조 및 포토레지스트 베이크는 선택적 열 공정이 아니라 회피할 수 없는 공정 제약 조건이다. 컨벡션 오븐은 열 지연과 가장자리에서 중심부로의 온도 구배를 극복하는 역할을 하며, 이는 세척 후 미세 액적 형성이나 소프트 베이크 후 CD 이동으로 나타난다. 결과적으로 수율 변동을 추적하게 되며, 이는 리소그래피에서 반복성 실패로 이어진다.</p>