http://clear-ir-lamp.com/ko/tags/%EC%95%84%EC%9D%B4%ED%81%AC%EC%8A%A4%ED%8A%B8%EB%A1%A0/ Recent content in 아이크스트론 on Clear Infrared Heating Lamps Hugo ko Mon, 29 Jun 2026 07:43:27 +0800 http://clear-ir-lamp.com/ko/posts/aixtron-heater-element-spare/ Mon, 29 Jun 2026 07:43:27 +0800 http://clear-ir-lamp.com/ko/posts/aixtron-heater-element-spare/ <p><img src="http://clear-ir-lamp.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="아익스트론 히터 소자 예비 부품"></p> <p>바닥에 위치한 <a href="https://henruite.com">Aixtron</a> <a href="https://o-yate.net">MOCVD</a> 챔버의 경우, 에피택시 공정이 정상적으로 진행되도록 하려면 매우 정확한 온도 제어가 필요합니다. 히터 요소의 성능이 불안정해지면, 공정의 반복성도 저하됩니다. 설정된 온도가 변하고, 웨이퍼의 온도가 고르지 않아지며, 결함도 증가합니다. 이러한 문제를 해결하기 위해 기다릴 수는 없습니다.</p>