http://clear-ir-lamp.com/ko/tags/%EC%95%88%EC%A0%84/ Recent content in 안전 on Clear Infrared Heating Lamps Hugo ko Thu, 23 Jul 2026 12:09:40 +0800 http://clear-ir-lamp.com/ko/posts/safety-distance-for-wafer-heating/ Thu, 23 Jul 2026 12:09:40 +0800 http://clear-ir-lamp.com/ko/posts/safety-distance-for-wafer-heating/ <p><img src="http://clear-ir-lamp.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="웨이퍼 가열을 위한 안전 거리"></p> <p><strong>적외선 웨이퍼 가열 시 적절한 거리 설정하기</strong><br> 반도체 공장의 탄소 발자국을 줄이고 싶다면, 더 이상 저항식 가열에만 의존해서는 안 됩니다. 단파 적외선(SWIR)이 그 해결책입니다. 하지만 문제는, 전체 시스템의 성능은 ‘안전 거리’에 달려 있다는 것입니다. 즉, 램프와 웨이퍼 사이의 그 미세한 간격이 중요합니다.<br> 간격이 너무 크면, 결국 챔버 벽을 데우는 데 에너지가 낭비됩니다. 반대로 간격이 너무 좁으면 웨이퍼가 손상되거나 열이 고르게 분산되지 않을 수 있습니다. 정말 섬세한 균형이 필요합니다.</p>