http://clear-ir-lamp.com/ko/tags/foup-front-opening-unified-pod/ Recent content in FOUP (Front Opening Unified Pod) on Clear Infrared Heating Lamps Hugo ko Sat, 06 Jun 2026 04:29:51 +0800 http://clear-ir-lamp.com/ko/posts/foup-front-opening-unified-pod-dryer/ Sat, 06 Jun 2026 04:29:51 +0800 http://clear-ir-lamp.com/ko/posts/foup-front-opening-unified-pod-dryer/ <p><img src="http://clear-ir-lamp.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="FOUP(프런트 오프닝 유니파이드 포드) 드라이어"></p> <h1 id="리소그래피-현장에서-세척기에서-돌아온-젖은-foup는-눈으로-보기-전에-먼저-느껴지는-문제입니다-잔여-수분은-소프트-베이크-드리프트-라인-폭-변동-그리고-스크랩을-유발합니다-트랙에-도달하기-전에-foup가-완전히-건조해야-하며-이-건조-상태는-반복-가능해야-합니다-배치마다">리소그래피 현장에서, 세척기에서 돌아온 젖은 FOUP는 눈으로 보기 전에 먼저 느껴지는 문제입니다. 잔여 수분은 소프트 베이크 드리프트, 라인 폭 변동, 그리고 스크랩을 유발합니다. 트랙에 도달하기 전에 FOUP가 완전히 건조해야 하며, 이 건조 상태는 반복 가능해야 합니다, 배치마다.</h1> <h2 id="기술적으로-중요한-사항">기술적으로 중요한 사항</h2> <p>우리는 캐리어 전반에 걸쳐 웨이퍼 수준의 열 균일성을 ±0.1°C 이내로 목표로 하여 모든 웨이퍼가 동일한 열 예산을 보도록 합니다. 히터 모듈은 석영 창을 가진 단파 적외선을 사용하여 빠른 직선 응답을 제공하고 설정점과 FOUP 본체 간의 열 지연을 줄입니다. 챔버는 Class 1–100 클린룸 운영을 위해 설계되었으며, 밀봉된 이음매와 사이클 동안 입자 발생을 제로로 유지하는 층류 공기 경로를 갖추고 있습니다.</p>