http://clear-ir-lamp.com/ko/tags/mems/ Recent content in MEMS on Clear Infrared Heating Lamps Hugo ko Sun, 12 Jul 2026 10:24:56 +0800 http://clear-ir-lamp.com/ko/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Sun, 12 Jul 2026 10:24:56 +0800 http://clear-ir-lamp.com/ko/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://clear-ir-lamp.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터"></p> <p>건조 과정에서 MEMS 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법<br> 만약 클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면, 아마도 그 고통스러운 상황을 잘 알고 있을 것입니다. 아주 작은 먼지 한 알이나 화학물질의 증기만 있어도 전체 웨이퍼가 망가지고 맙니다.<br> 문제는 대부분의 가열 요소들이 사실상 꽤 더러우다는 점입니다. 가열될 때 미세한 조각들이 떨어지거나 휘발성 유기화합물(VOCs)이 웨이퍼 위로 유출됩니다. 이는 재앙을 초래할 수 있습니다.<br> 그래서 우리는 고순도의 합성 석영 IR 램프를 사용합니다. 이 램프들은 그런 문제를 일으키지 않습니다.</p>