Pengering FOUP (Pod Bersatu Pembukaan Depan)

Sat, 06 Jun 2026 04:29:52 +0800

Di lantai litografi, FOUP basah yang kembali dari sink adalah masalah yang dapat dirasakan sebelum dilihat. Kelembapan residual mendorong penyimpangan pemanggangan lembut, penyimpangan lebar garis, dan sisa. Anda perlu FOUP dalam keadaan kering sebelum ia memasuki trek, dan keadaan kering itu perlu dapat diulang, dari satu lot ke lot yang lain.

Apa yang penting, dari segi teknikal

Kami menyasarkan keseragaman suhu pada wafer pada ±0.1°C di seluruh pengangkut supaya setiap wafer melihat anggaran thermal yang sama. Modul pemanas menggunakan inframerah gelombang pendek dengan tingkap kuarza, memberikan respons cepat, garis pandang langsung dan mengurangkan kelewatan thermal antara titik set dan badan FOUP. Ruang ini dibina untuk operasi bilik bersih Kelas 1–100, dengan jahitan yang tertutup dan laluan udara laminar yang mengekalkan penghasilan partikel pada sifar semasa kitaran. Kawalan adalah gelung tertutup tepat di antara FOUP, bukan di blok pemanas. Ini bermakna suhu yang anda perintahkan adalah suhu yang anda ukur di tempat yang penting.

(Depan on Clear Infrared Heating Lamps

Pengering FOUP (Pod Bersatu Pembukaan Depan)

Apa yang penting, dari segi teknikal