Лампа нагревателя для литографии Canon

Thu, 25 Jun 2026 05:15:10 +0800

На этапе литографии отклонение температуры при нагревании в 0,5°C не является «незначительным». Это приводит к снижению качества продукции. Процессы мягкого и жесткого нагревания определяют тепловой баланс, который в свою очередь влияет на контроль ширины линий, на размер допусков и на количество растворителей, оставшихся после обработки. Как только нагревательный элемент начинает работать неэффективно, это сразу проявляется: появляются остатки волновых колебаний, снижается адгезия материала, что приводит к нарушению стабильности линий.

Что имеет значение с технической точки зрения
Мы задаем параметры нагревательного элемента таким образом, чтобы обеспечить тепловую однородность на уровне пластины — стабильность температуры на уровне ±0,1°C в состоянии равновесия. Галогенный источник света подбирается так, чтобы он соответствовал профилю поглощения света распространенных фотополимеров. Это позволяет достичь быстрого и предсказуемого нагрева без перерасхода энергии. Кварцевая конструкция и герметичная оболочка минимизируют выделение газов и образование частиц; таким образом, устройство может использоваться в чистых помещениях классов от 1 до 100.

Канон on Clear Infrared Heating Lamps

Лампа нагревателя для литографии Canon