Сушилка FOUP (унифицированный контейнер с фронтальным открытием)

Sat, 06 Jun 2026 04:29:51 +0800

На литографическом этаже влажный FOUP, возвращающийся из мойки, становится проблемой, которую можно почувствовать ещё до того, как увидеть. Остаточная влага вызывает дрейф при мягком обжиге, отклонения ширины линий и брак. FOUP должен быть полностью сухим перед подачей на трек, и это состояние должно повторяться из партии в партию.

Что важно с технической точки зрения

Цель — обеспечить тепловое равномерное распределение на уровне подложки в пределах ±0,1°C по всему носителю, чтобы все пластины получали одинаковый тепловой бюджет. Нагревательный модуль использует коротковолновое инфракрасное излучение с кварцевыми окнами, обеспечивая быстрый прямой отклик и снижая тепловое запаздывание между заданной температурой и корпусом FOUP. Камера сконструирована для работы в классах очистки 1–100, с герметичными швами и ламинарным воздушным потоком, который не допускает образования частиц во время цикла. Система управления работает по замкнутому контуру непосредственно на интерфейсе FOUP, а не на нагревательном блоке. Это означает, что температура, которую вы задаёте, совпадает с температурой, измеряемой в критически важной точке.

Под) on Clear Infrared Heating Lamps

Сушилка FOUP (унифицированный контейнер с фронтальным открытием)

Что важно с технической точки зрения