Сушка on Clear Infrared Heating Lamps

Энергетический аудит для сушки в производственных помещениях

Fri, 17 Jul 2026 08:07:16 +0800

Как сохранять чистоту в производственных условиях, когда что-то идет не так
В производственном цехе с высокой интенсивностью работы поломка инфракрасной лампы — настоящий кошмар. Речь идет не только о простое оборудования, но и о беспорядке, который возникает в результате этого. Когда разрушается кварцевая трубка, осколки стекла и вольфрамовые нити попадают на кристаллы. Одна такая поломка может привести к тому, что весь партийный продукт станет бесполезным.

Мы разрабатываем лампы таким образом, чтобы этого не происходило.

Нагреватель для сушки пластин с датчиками MEMS

Sun, 12 Jul 2026 10:24:54 +0800

Как сохранить чистоту пластин с MEMS во время процесса сушки
Если вы работаете в чистой комнате класса 100, вы уже знаете, какая это проблема: одна-единственная крошечная пылинка или случайный выброс химических паров могут сделать всю партию продукции бесполезной.

Проблема в том, что большинство нагревательных элементов на самом деле довольно грязные. Когда они нагреваются, они выделяют микроскопические частицы или летучие органические соединения, которые попадают на поверхность пластин. Это настоящая катастрофа.

Поэтому мы используем инфракрасные лампы из высокочистого синтетического кварца. Они не вызывают подобных проблем.

Инфракрасная сушка против конвекционной сушки для сушки пластин

Thu, 04 Jun 2026 03:57:09 +0800

На производственном участке сушка пластин и отжиг фоторезиста — это не опциональные тепловые этапы, а технологические ограничения, которые нельзя обойти. Конвекционные печи борются с тепловым запаздыванием и градиентами от края к центру, что проявляется в виде микрокапель после очистки или сдвига критических размеров (CD) после мягкого отжига. В итоге приходится постоянно корректировать дрейф выхода годных изделий, что приводит к сбоям в повторяемости литографии.

Технически важные моменты
Инфракрасное излучение обеспечивает прямой радиационный нагрев, благодаря чему пластина нагревается быстро и практически без движения воздуха. Наши коротковолновые галогеновые модули обеспечивают разгон температуры менее чем за секунду и поддерживают равномерность нагрева на уровне ±0.1°C по всей поверхности пластины. Такая точность сохраняет технологические окна мягкого и твердого отжига, контролируя испарение растворителей и профили сшивки без теплового превышения. Платформа подходит для чистых помещений классов 1–100, а конструкция минимизирует генерацию частиц за счёт отсутствия конвективного потока и использования излучателей с чистой поверхностью.