http://clear-ir-lamp.com/th/tags/mems/ Recent content in MEMS on Clear Infrared Heating Lamps Hugo th Sun, 12 Jul 2026 10:24:56 +0800 http://clear-ir-lamp.com/th/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Sun, 12 Jul 2026 10:24:56 +0800 http://clear-ir-lamp.com/th/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://clear-ir-lamp.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="เครื่องทำให้แผ่นเซ็นเซอร์ MEMS แห้ง"></p> <h1 id="วธรกษาความสะอาดของแผนเซมคอนดกเตอรใหปลอดจากฝนระหวางกระบวนการทำใหแหง">วิธีรักษาความสะอาดของแผ่นเซมิคอนดักเตอร์ให้ปลอดจากฝุ่นระหว่างกระบวนการทำให้แห้ง</h1> <p>หากคุณใช้ห้องปลอดฝุ่นระดับ Class 100 คุณคงรู้ดีว่ามันน่ากังวลแค่ไหน: เพียงฝุ่นเล็กๆ เพียงจุดเดียว หรือไอเคมีที่หลุดออกมา ก็อาจทำให้แผ่นเซมิคอนดักเตอร์ทั้งชุดเสียหายได้</p> <p>ปัญหาก็คือ องค์ประกอบที่ใช้สำหรับการให้ความร้อนนั้นมักจะสกปรกอยู่แล้ว เมื่อองค์ประกอบเหล่านี้ร้อนขึ้น ก็มักจะมีเศษสารต่างๆ หลุดออกมา หรือมีสารอินทรีย์ระเหยได้ง่ายหลุดออกมาด้วย ซึ่งเป็นสาเหตุให้เกิดความเสียหายได้</p> <p>นั่นคือเหตุผลที่เราเลือกใช้หลอดไฟอินฟราเรดที่ทำจากควอตซ์บริสุทธิ์ เพราะหลอดไฟประเภทนี้ไม่ก่อให้เกิดปัญหาดังกล่าว</p> <h2 id="ทำไมเราถงเลอกใชควอตซบรสทธ">ทำไมเราถึงเลือกใช้ควอตซ์บริสุทธิ์</h2> <p>เราเลือกใช้ควอตซ์บริสุทธิ์เพราะมันมีความทนทานสูง ส่วนแก้วธรรมดาหรือควอตซ์ราคาถูกมักจะแตกหักเมื่ออุณหภูมิสูงขึ้น แต่ควอตซ์บริสุทธิ์ไม่เป็นเช่นนั้น</p> <p>สิ่งที่ดีที่สุดก็คือ รังสีอินฟราเรดสามารถผ่านชั้นของของเหลวบนแผ่นเซมิคอนดักเตอร์ได้โดยตรง ทำให้น้ำระเหยได้อย่างรวดเร็ว และเนื่องจากไม่มีสิ่งใดมาสัมผัสกับแผ่นเซมิคอนดักเตอร์โดยตรง คุณจึงไม่ต้องกังวลเรื่องรอยขีดข่วนหรือสิ่งสกปรกบนพื้นผิวอีกต่อไป</p> <h2 id="การปรบอณหภมใหเหมาะสม">การปรับอุณหภูมิให้เหมาะสม</h2> <p>เราเลือกใช้รังสีอินฟราเรดคลื่นสั้น เพราะรังสีนี้จะส่งผลต่อพื้นผิวของแผ่นเซมิคอนดักเตอร์ได้อย่างรวดเร็ว</p> <p>การทำให้แผ่นเซมิคอนดักเตอร์แห้งอย่างรวดเร็วนั้นมีความสำคัญมาก เพราะหากสารละลายใช้เวลานานเกินไปในการระเหย ก็จะเกิดจุดน้ำขึ้นบนแผ่นเซมิคอนดักเตอร์ได้</p> <p>เราใช้เวลามากมายในการปรับค่าแรงดันไฟฟ้าและกำลังไฟฟ้า เพื่อให้อุณหภูมิกระจายตัวอย่างสม่ำเสมอทั่วแผ่นเซมิคอนดักเตอร์ ข้อควรระวังคือ หากคุณเพิ่มกำลังไฟฟ้าเพื่อเร่งกระบวนการ ต้องแน่ใจว่าอุปกรณ์ที่ใช้ยึดแผ่นเซมิคอนดักเตอร์สามารถทนต่อความร้อนได้ มิฉะนั้นแผ่นเซมิคอนดักเตอร์ก็อาจเสียหายได้</p> <h2 id="การออกแบบใหเหมาะสม">การออกแบบให้เหมาะสม</h2> <p>เราออกแบบอุปกรณ์ให้มีขนาดเล็กที่สุด เพื่อไม่ให้มีสิ่งที่อาจเป็นแหล่งสะสมฝุ่นได้ นอกจากนี้ เรายังใช้วิธีการปิดผนึกที่เหมาะสม เพื่อไม่ให้มีฝุ่นหรือสิ่งสกปรกเข้ามาในบริเวณที่ใช้ให้ความร้อนได้</p> <p>ข้อควรระวังอีกอย่างคือ หลอดไฟเหล่านี้มีความร้อนสูงมาก เราจึงแนะนำให้มีระบบระบายความร้อนสำหรับปลายหลอดไฟด้วย เพื่อป้องกันไม่ให้ปลายหลอดไฟเสียหายระหว่างการผลิต</p>