http://clear-ir-lamp.com/tr/tags/duv/ Recent content in (DUV) on Clear Infrared Heating Lamps Hugo tr Thu, 18 Jun 2026 04:48:21 +0800 http://clear-ir-lamp.com/tr/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ Thu, 18 Jun 2026 04:48:21 +0800 http://clear-ir-lamp.com/tr/posts/deep-uv-duv-resist-bake-lamp/ <p><img src="http://clear-ir-lamp.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Derin UV (DUV) direnç fırın lambası"></p> <p>Litografide, “yumuşak pişirme” ve “sert pişirme” iş<a href="https://henruite.com">lemleri</a> sadece “fotoresistanın ayarlanması” adımları değildir. Bu işlemler, kritik boyutların belirlenmesini sağlar. Wafer üzerindeki 0,3°C’lik bir sıcaklık değişimi bile çizgi kalınlıklarını standartların dışına çıkarabilir ve tüm üretimi boşa çıkarabilir. Biz de bu sorunu ortadan kaldırmak için DUV tipi fotoresistan pişirme lambası geliştirdik.</p> <p><strong>Teknik açıdan önemli olan şeyler</strong><br> Bu cihaz, milimetre altı düzeyde eşitlik sağlayan bir termal alan oluşturmak için yakın kızılötesi ısıtma teknolojisini kullanır; wafer yüzeyindeki sıcaklık farkı ±0,1°C civarındadır. Lambanın çıkışı kapalı döngü kontrolüyle yönetildiğinden, ürünler arasında tutarlılık sağlanır. Böylece, ister geliştirme aşamasında isterse üretim aşamasında olsun, fotoresistanın pişirme sıcaklığı sabit kalır.</p>