http://clear-ir-lamp.com/tr/tags/foup/ Recent content in FOUP on Clear Infrared Heating Lamps Hugo tr Sat, 06 Jun 2026 04:29:52 +0800 http://clear-ir-lamp.com/tr/posts/foup-front-opening-unified-pod-dryer/ Sat, 06 Jun 2026 04:29:52 +0800 http://clear-ir-lamp.com/tr/posts/foup-front-opening-unified-pod-dryer/ <p><img src="http://clear-ir-lamp.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Ön Açılır Birleşik Kapsül (FOUP) kurutucu"></p> <p>Litografi katında, sudan yeni çıkmış ıslak FOUP’u görmekten önce onun yarattığı <a href="https://henruite.com">problemi</a> hissedersiniz. Artan nem, soft bake sapmalarına, çizgi genişliği oynamalarına ve hurdaya yol açar. FOUP’un track’e girmeden önce tamamen kuru olması gerekir ve bu kuru halde olma durumu, her lot için tekrar edilebilir olmalıdır.</p> <h2 id="teknik-olarak-önemli-olan">Teknik olarak önemli olan</h2> <p>Taşıyıcı boyunca ±0.1°C içinde wafer seviyesinde ısısal uniformite hedefliyoruz, böylece her wafer aynı ısıl yükü alır. Isıtıcı modülü, kuvars camları ile kısa dalga infrared kullanır; bu sayede hızlı, doğrudan görüş şartları oluşur ve setpoint ile FOUP gövdesi arasındaki ısıl gecikme azaltılır. Kompartman, Class 1–100 temiz oda koşulları için tasarlanmıştır; sızdırmaz dikişlere ve devre boyunca parçacık üretimini sıfırda tutan laminar hava yoluna sahiptir.<br> Kontrol, ısıtıcı bloğun değil, FOUP ara yüzünde kapalı çevrim olarak yapılır. Bu, komut verdiğiniz sıcaklığın, ölçümün önemli olduğu noktada gerçek sıcaklık olduğu anlamına gelir.</p>