http://clear-ir-lamp.com/uk/tags/%D0%B2%D1%96%D0%B4%D0%BA%D1%80%D0%B8%D1%82%D1%82%D1%8F/ Recent content in Відкриття on Clear Infrared Heating Lamps Hugo uk Sat, 06 Jun 2026 04:29:52 +0800 http://clear-ir-lamp.com/uk/posts/foup-front-opening-unified-pod-dryer/ Sat, 06 Jun 2026 04:29:52 +0800 http://clear-ir-lamp.com/uk/posts/foup-front-opening-unified-pod-dryer/ <p><img src="http://clear-ir-lamp.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="сушарка FOUP (фронтальна відкриваюча уніфікована капсула)"></p> <p>На цеху літографії волога FOUP, що повертається після мийки, — це проблема, яку можна відчути до того, як побачити. Залишкова волога викликає дрейф soft bake, коливання ширини ліній і брак. FOUP має бути абсолютно сухим до потрапляння на трек, і цей сухий стан потрібно забезпечити стабільним із лоту в лот.</p> <h2 id="технічні-аспекти">Технічні аспекти</h2> <p>Ми прагнемо до теплової однорідності на рівні пластинки в межах ±0,1°C по всьому носієві, щоб кожна пластина отримувала однаковий тепловий бюджет. Модуль нагрівача використовує короткохвильове інфрачервоне випромінювання з кварцовими вікнами, що забезпечує швидку реакцію в лінії прямої видимості та зменшує теплове запізнення між встановленою точкою та корпусом FOUP. Камера призначена для роботи в чистій зоні класу 1–100 з герметичними швами та ламінарним повітряним потоком, що забезпечує нульове утворення часток під час циклу.</p>