http://clear-ir-lamp.com/uk/tags/%D0%BF%D0%BB%D0%B0%D1%81%D1%82%D0%B8%D0%BD%D0%B0/ Recent content in Пластина on Clear Infrared Heating Lamps Hugo uk Thu, 04 Jun 2026 03:57:09 +0800 http://clear-ir-lamp.com/uk/posts/infrared-vs-convection-for-wafer-drying/ Thu, 04 Jun 2026 03:57:09 +0800 http://clear-ir-lamp.com/uk/posts/infrared-vs-convection-for-wafer-drying/ <p><img src="http://clear-ir-lamp.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="Інфрачервоне випромінювання проти конвекції для сушки пластин"></p> <p>На виробничому майданчику сушка пластин і запікання фоторезисту не є факультативними тепловими етапами — це технологічні обмеження, які неможливо обійти. Конвекційні печі борються з тепловою інерцією та градієнтами від краю до центру, що проявляється у вигляді мікрокрапель після очищення або зсуву CD після м’якого запікання. У підсумку доводиться долати дрейф виходу продукції, що проявляється у відмовах повторюваності в літографії.</p> <p><strong>Що має значення з технічної точки зору</strong><br> Інфрачервоне випромінювання забезпечує прямий радіаційний нагрів, тому пластина нагрівається швидко з майже відсутнім рухом повітря. Наші короткохвильові галогенові модулі забезпечують розгін температури за субсекунду та підтримують рівномірність на рівні пластини в межах ±0,1°C по всій підкладці. Саме ця точність зберігає технологічні вікна м’якого і твердого запікання — контролюючи випаровування розчинників і профілі перехресного зв’язування без термічного перенагріву. Платформа підходить для чистих приміщень класу 1–100, а конструкція мінімізує генерацію часток завдяки відсутності конвективного потоку повітря і використанню випромінювачів з чистою поверхнею.</p>