http://clear-ir-lamp.com/zh/tags/%E5%BE%AE%E6%9C%BA%E7%94%B5%E7%B3%BB%E7%BB%9F/ Recent content in 微机电系统 on Clear Infrared Heating Lamps Hugo zh Sun, 12 Jul 2026 10:24:57 +0800 http://clear-ir-lamp.com/zh/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Sun, 12 Jul 2026 10:24:57 +0800 http://clear-ir-lamp.com/zh/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://clear-ir-lamp.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="MEMS传感器晶圆干燥加热器"></p> <p>在干燥过程中保持MEMS晶圆的洁净度<br> 如果您是在100级洁净室中工作，那么您应该很清楚其中<a href="https://o-yate.net">的风险</a>：哪怕有一粒微小的灰尘或有害化学物质进入晶圆表面，整批产品都会报废。<br> 问题在于，大多数加热元件其实都非常脏。当它们被加热时，很容易产生微小的碎片，或者释放出挥发性有机化合物，这些物质会污染晶圆表面。这简直就是一场灾难的隐患。<br> 因此，我们选择使用高纯度的合成石英红外线灯。因为这类灯不会产生上述问题。</p>