الحفاظ على رقاقات MEMS نظيفة أثناء عملية التجفيف
إذا كنت تعمل في غرفة نظيفة من الفئة 100، فأنت بالتأكيد تعرف المشكلة: حتى ذرة غبار صغيرة أو بخار كيميائي واحد يمكن أن يدمر الكمية بأكملها.
المشكلة هي أن معظم عناصر التسخين في الواقع متسخة للغاية. عندما تسخن، فإنها تفرز رذاذًا دقيقًا أو مركبات عضوية متطايرة على سطح الرقاقة، وهو ما يشكل كارثة وشيكة.
لذلك نستخدم مصابيح الكوارتز الاصطناعية عالية النقاء. فهي لا تسبب هذه المشاكل.
لماذا نستخدم الكوارتز النقي؟
نستخدم السيليكا المنصهرة لأنها قوية جدًا. الزجاج العادي أو الكوارتز الرخيص يميل إلى التكسر أو التفتت عندما يسخن. أما السيليكا المنصهرة فلا تفعل ذلك.
الأفضل من ذلك، أن الأشعة تحت الحمراء تخترق الطبقة السائلة على سطح الرقاقة مباشرة، مما يسرع من تبخر الرطوبة. وبما أن لا شيء يلامس سطح الرقاقة، فلا داعي للقلق بشأن الخدوش أو الأوساخ على السطح.
تحقيق درجة الحرارة المناسبة
نستخدم أشعة تحت حمراء قصيرة الموجة، حيث تصل إلى سطح الرقاقة بسرعة كبيرة.
هذا مهم جدًا، لأنه إذا استغرق تبخر المذيب وقتًا طويلاً، فسوف تظهر بقع مائية على الرقاقة.
نقضي الكثير من الوقت في ضبط قوة وجهد التيار الكهربائي لضمان توزيع الحرارة بشكل متساوي على الرقاقة. تنبيه: إذا زدت القوة لتسريع العملية، تأكد من أن حامل الرقاقة قادر على تحمل الحرارة. وإلا، فإن الرقاقة ستتشوه.
التصميم البسيط
نحرص على أن يكون التصميم بسيطًا، بدون أي أجزاء ضخمة قد تكون مصدرًا للغبار.
الاتصالات بين الأجزاء قليلة جدًا، مما يقلل من احتمال تلف الأجزاء. كما نستخدم أغلفة خاصة لمنع تسرب الجزيئات من الأطراف الكهربائية إلى منطقة التسخين.
نصيحة أخيرة: هذه المصابيح تصدر حرارة عالية، لذا ننصح باستخدام نظام تبريد خاص لأطراف المصابيح، حتى لا تتلف أثناء عمليات الإنتاج المطولة.