توقفوا عن إضاعة الوقت في انتظار أن تسخن الغرفة المخصصة للمعالجة.
إذا كنتم تقومون بمعالجة أشباه الموصلات، فأنتم تعرفون جيدًا مدى إزعاج “الوقت الضائع”. أنتم تعرفون تمامًا ما أعنيه… ذلك الوقت الضائع في الدورة الحرارية، حيث يجب عليكم الانتظار فقط.
معظم الأنظمة تستخدم تدوير الهواء القسري، وهو إجراء بطيء للغاية. يتم تسخين الهواء، ثم يسخن الهواء الغرفة، وأخيرًا يتم تسخين الرقاقات. إنها عملية متسلسلة تستغرق وقتًا طويلاً.
الحل؟ استخدام أجهزة التسخين بالأشعة تحت الحمراء.
أجهزة التسخين بالأشعة تحت الحمراء تتجاوز هذه الخطوات الوسطى. بدلاً من التعامل مع الهواء، فإنها ترسل الإشعاع الكهرومغناطيسي مباشرة إلى الهدف.
إنه شعور رائع عندما ترى ذلك لأول مرة… لا داعي للانتظار حتى يستقر الهواء في الغرفة؛ يمكنك الوصول إلى درجة الحرارة المطلوبة في ثوانٍ معدودة. هذا يسمح لك بتسريع عملية المعالجة وإنتاج المزيد من الرقاقات في وقت أقصر.
بالإضافة إلى ذلك، دعونا نتحدث عن المشاكل المتعلقة بالغبار…
الهواء القسري يخلق مشاكل كبيرة في الغرف المخصصة للمعالجة، حيث يؤدي إلى تطاير الغبار والجسيمات الدقيقة. حتى مع أفضل مرشحات HEPA، فإن تحريك الهواء يشكل خطرًا على الرقاقات السيليكونية. أما أجهزة التسخين بالأشعة تحت الحمراء، فهي ثابتة تمامًا؛ لا توجد أجزاء متحركة، ولا توجد تيارات هوائية. يمكنك التخلص من الأجزاء المعقدة المستخدمة في تنظيم تدفق الهواء، وبالتالي الحصول على مساحة أكبر في الغرفة.
لكن، لا يمكن اعتبار ذلك حلًا سحريًا… يوجد بعض الأمور التي يجب الانتباه إليها.
أجهزة التسخين بالأشعة تحت الحمراء تعمل في اتجاه معين، لذا إذا كنت تعمل مع أشكال ثلاثية الأبعاد معقدة، فلا يمكنك ببساطة ترك الأمور كما هي. ستواجه مشكلة “تأثير الظلال”， حيث تظل الأماكن العميقة باردة بينما تسخن السطوح. يجب أن تكون حذرًا جدًا في تحديد زوايا الانعكاس ومكان وضع الأجهزة لضمان توزيع الحرارة بشكل متساوٍ.
وبما أن أجهزة التسخين بالأشعة تحت الحمراء سريعة جدًا، فإن نظام التحكم الخاص بك يجب أن يكون سريعًا أيضًا.
إذا كان نظام التحكم الخاص بك بطيئًا أو غير كافٍ، فستصل درجة الحرارة إلى القيمة المطلوبة قبل أن تدرك ذلك. ستحتاج إلى أجهزة استشعار سريعة وأنظمة تحكم قادرة على الاستجابة بسرعة مثل الحرارة نفسها.
إنها عملية تتطلب دقة أكبر في البداية، لكن السرعة التي تحصل عليها تستحق العناء.