Auf dem Boden benötigt eine Aixtron-MOCVD-Kammer eine äußerst präzise Temperaturregelung, damit die Epitaxie-Prozesse korrekt ablaufen können. Wenn das Heizelement nicht zuverlässig funktioniert, verschlechtert sich die Wiederholgenauigkeit der Prozesse. Es treten Unregelmäßigkeiten in der Wafer-Temperatur auf, und die Anzahl der Defekte nimmt zu. Man kann es sich nicht leisten, auf eine Reparatur zu warten.
Was wirklich wichtig ist:
Wir liefern Ersatzteile für die Heizelemente von Aixtron, die perfekt zum thermischen Verhalten der Kammer passen. Die Geometrie der Heizelemente wird so gewählt, dass sie mit der Struktur des Substrats übereinstimmt. Zudem wird ein Material verwendet, das schnell reagiert und über einen längeren Zeitraum hinweg eine konstante elektrische Widerstandskraft behält. Dadurch bleibt die Temperatur auf dem Wafer bei ±0,1°C konstant – dadurch bleiben auch die Profile der Photoresist-Beschichtungen konstant, Lot für Lot.
Die Konstruktion der Heizelemente ist für Reinräume der Klasse 1–100 geeignet. Sie erzeugen keine Partikel, sodass die Partikelanzahl während des Wechsels der Komponenten konstant bleibt. Die Heizelemente sind dafür konzipiert, 24/7 zu funktionieren – dabei sind langere Zeitintervalle zwischen den Erneuerungen möglich.
Warum das in der Lithografie wichtig ist:
In der Lithografie sowie in den damit verbundenen thermischen Prozessen ist die Temperaturpräzision entscheidend, um die Linienbreite zu kontrollieren und Defekte zu vermeiden. Die richtigen Ersatzteile von Aixtron sorgen dafür, dass das ursprüngliche thermische Gleichgewicht wiederhergestellt wird – dadurch bleibt das Prozessfenster stabil.
Die Stillstandzeiten sinken, die Produktivität bleibt erhalten und der Energieverbrauch bleibt auf einem angemessenen Niveau. Die Wiederholgenauigkeit verbessert sich, und der Ausschussanteil verringert sich.
Die Details, die Probleme verhindern:
Bei der Installation müssen strenge ESD-Vorschriften eingehalten werden, außerdem muss der richtige Drehmoment beim Befestigen der Komponenten verwendet werden. Andernfalls entstehen Mikrlücken, die die Temperaturverteilung stören. Überprüfen Sie unbedingt Typ, Spannung und Abmessungen der Anschlüsse in Abhängigkeit von der Version der Kammer – inkonsistente Anschlüsse können das thermische Gleichgewicht stören.
Planen Sie vorzeitige Austausche während der vorgesehenen Wartungsarbeiten. So können thermische Schocks vermieden werden und die Beschichtungen der Kammer geschützt werden.