Im Bereich der Lithografie sind die Schritte des Weichbrennens und Hartbrennens nicht einfach nur Schritte zur Aktivierung des Fotolithikats. Sie bestimmen vielmehr die zulässigen Abweichungen bei den Abmessungen der Strukturen auf dem Wafer. Eine Abweichung von 0,3 °C kann dazu führen, dass die Linienbreiten außerhalb der Spezifikationen liegen – was wiederum dazu führt, dass der ganze Produktionsprozess scheitert. Deshalb haben wir eine DUV-Lampe entwickelt, die dazu dient, diese Temperaturabweichungen auszugleichen.
Was technisch wichtig ist: Die Lampe nutzt Infrarotstrahlung zur Erzeugung eines thermischen Feldes mit einer Homogenität von unter einem Millimeter – ±0,1 °C über die gesamte Fläche des Wafers hinweg. Dadurch wird eine hohe Wiederholbarkeit zwischen verschiedenen Chargen gewährleistet, da die Leistung der Lampe über einen Regelkreis gesteuert wird – und nicht nur anhand von Thermoelementen geschätzt wird. Dadurch bleibt die Temperatur beim Brennen des Fotolithikats konstant, egal ob es sich um eine Entwicklungsphase oder eine Produktionsphase handelt.
Die Kompatibilität mit Reinräumen ist bereits in der Konstruktion berücksichtigt. Die Lampe eignet sich für den Betrieb in Klassen 1–100, da sie Materialien verwendet, die wenig Gase abgeben. Zudem sorgt die kontrollierte Hitzezone dafür, dass Kontaminationen vom Wafer ferngehalten werden.
Warum die Lampe in einer echten Fertigungsstätte funktioniert: In einer 24/7-Fertigungsstätte werden unplanmäßige Stillstände in verpassten Produktionszyklen gemessen. Diese Lampe ermöglicht ein kontinuierliches Arbeiten ohne unplanmäßige Stillstände – und sie opfert dabei keine Effizienz. Die schnelle thermische Reaktion verkürzt die Brennzyklen und senkt den Energieverbrauch.
Dadurch können mehr Wafers pro Tag hergestellt werden, es kommt zu weniger Nacharbeiten, und der Lithografieprozess bleibt stabil – was wiederum dazu führt, dass weniger Produkte verschwendet werden. Die vollständige Vermeidung von Partikeln während des Brennvorgangs schützt die Qualität der Produkte, besonders bei den empfindlichsten Bauelementen, bei denen bereits ein einziger Defekt zum Scheitern des Produkts führen kann.
Was man vorab wissen sollte: Die Installation der Lampe ist einfach – doch sie benötigt eine eigene Strom- und Kühlungsanlage, die zum thermischen Bedarf der Lampe passt. Die Lampe lässt sich problemlos in vorhandene Anlagen integrieren – doch man sollte schon frühzeitig die Platzverhältnisse sowie die notwendigen Leitungen planen. Sonst entstehen Verzögerungen bei der Anpassung der Anlage.
Stellen Sie zunächst die notwendigen Anschlüsse sicher. Dann sollte das Brennprofil bereits bei der ersten Qualifikationscharge stabil sein.