Hören Sie auf, Zeit mit dem Warten darauf zu verschwenden, bis der Reinraum warm genug ist.
Wenn Sie mit Halbleitern arbeiten, kennen Sie sicherlich die Frustration, die durch solche Wartezeiten entsteht. Sie wissen genau, was ich meine – dieser lästige Zeitverlust im thermischen Prozess, während man einfach nur wartet.
Die meisten Anlagen verwenden eine Zirkulation von Luft per Gebläsen. Das ist ein langsamer Prozess: Zuerst wird die Luft erhitzt, anschließend erwärmt die Luft den Raum – und erst dann wird die Wafer ebenfalls erwärmt. Es handelt sich dabei um eine Kettenreaktion, die viel Zeit kostet.
Der Shortcut? Infrarotheizer.
Infrarotheizer überspringen diesen Zwischenschritt. Anstatt mit Luft zu arbeiten, senden sie elektromagnetische Strahlung direkt zum Zielobjekt.
Es ist ein unglaubliches Gefühl, wenn man das zum ersten Mal erlebt: Man muss nicht mehr warten, bis das Gebläse den Raum auf die richtige Temperatur gebracht hat – man erreicht die gewünschte Temperatur bereits innerhalb von Sekunden. Dadurch können Sie die Prozesse beschleunigen und mehr Chargen pro Zeitfenster verarbeiten.
Außerdem: Mit Zentralgebläsen entstehen in einem Reinraum Unmengen an Staub und Partikeln. Selbst mit den besten HEPA-Filtern bleibt das Risiko für die Siliziumwafer bestehen. Infrarotheizer hingegen sind statisch – es gibt keine beweglichen Teile, keine Turbulenzen. Man kann die komplizierten Luftstromregler weglassen und so mehr Platz im Raum gewinnen.
Aber Achtung: Es handelt sich dabei nicht um einen Zauberstab. Es gibt einige Dinge, auf die man achten muss.
Infrarotstrahlung ist Richtungsabhängig. Wenn man mit komplexen 3D-Formen arbeitet, kann man nicht einfach „alles einstellen und ignorieren“. Man muss darauf achten, dass die Heizstrahlen gleichmäßig verteilt werden – sonst bleiben tiefe Ecken kalt, während die Oberfläche erwärmt wird. Man muss also sorgfältig darauf achten, wo die Reflektoren und Lampen platziert werden.
Und da Infrarotstrahlung so schnell wirkt, muss auch das Steuersystem mitkommen. Wenn das PID-System zu langsam oder unpräzise ist, wird die Temperatur schneller erreicht, als man es erwartet. Man braucht daher hochwertige Sensoren und Steuergeräte, die genauso schnell reagieren können wie die Heizung.
Es erfordert zwar etwas mehr Präzision bei der Einrichtung, aber die Geschwindigkeit, die man dadurch erreicht, ist es wert.