Wie man einen Reinraum der Klasse 100 wirklich sauber hält
Wenn man in einem Reinraum der Klasse 100 arbeitet, geht es bei der Heizung nicht nur darum, die richtige Temperatur zu erreichen. Es handelt sich dabei vielmehr um einen Kampf gegen kleine Partikel.
Die meisten Standardheizelemente sind in solchen Umgebungen ein Albtraum. Sie geben giftige Dämpfe ab oder setzen winzige Mikropartikel frei – Partikel, die man zwar nicht sehen kann, aber die Ihre Wafer sowie optischen Komponenten zerstören können. Wir lösen dieses Problem, indem wir hochreinen, gefärbten Quarz für die Infrarotlampen verwenden.
Warum der Quarz wichtig ist
Wir verwenden synthetischen, gefärbten Quarz für die Lampenhüllen. Warum? Weil er enorme thermische Belastungen aushalten kann, ohne zu spröde zu werden. Noch wichtiger ist, dass er keine schädlichen flüchtigen organischen Verbindungen freisetzt, wenn die Lampen heiß werden.
Günstige Lampen bestehen in der Regel aus Glas niedriger Qualität. Solche Lampen neigen dazu, zu splittern oder Dämpfe abzugeben – was genau das Letzte ist, was man möchte. Unser Quarz ist so konstruiert, dass er während des Betriebs keine Partikel abgibt – selbst nicht während des Einrichtungsprozesses.
Leistung und Platzbedarf
Niemand möchte einen riesigen Ofen, der den gesamten Platz einnimmt. Um den Platzbedarf gering zu halten, konzentrieren wir uns auf das Verhältnis zwischen Leistung und Länge der Lampe. Durch den Einsatz von Hochleistungs-Infrarotlampen kann man die Heizzone kompakt halten. Dadurch werden schnellere Reaktionszeiten erzielt und eine bessere Steuerung möglich.
Aber hier liegt das Problem: Eine hohe Wärmedichte bedeutet, dass die Oberfläche der Lampe sehr heiß wird. Man muss also gut auf die Kühlventilatoren und Schutzelemente achten. Wenn der Luftstrom schwach ist, besteht die Gefahr, dass die Lampensockel oder das Gehäuse des Ofens beschädigt werden. Sparen Sie nicht an den Ventilatoren.
Installation
Wir halten es einfach. Wir verwenden branchenübliche Steckverbindungen wie R7s oder SK15. Wenn eine Lampe kaputt geht, kann man einfach eine neue einsetzen und weitermachen.
Es werden hier keine Klebstoffe oder organischen Beschichtungen verwendet. Kein Kleber, keine Harze – nur mechanische Verbindungen. Dadurch bleibt die Luft sauber.
Ein letzter Tipp: Stellen Sie sicher, dass您的 Stromversorgung zuverlässig ist. Spannungsschwankungen sind feindlich. Schon eine Schwankung von 10 % in der Eingangsspannung kann die Wellenlänge des Infrarotlichts sowie die Wärmeabgabe verändern. Das stört den gesamten Prozess. Halten Sie sich an die angegebene Spannung – dann bleiben die Zykluszeiten vorhersehbar.