Energieaudit für die Fabriktrocknung
Die Aufrechterhaltung der Reinheit der Wafer – auch wenn etwas schiefgeht
In einer Produktionsstätte mit hoher Leistungsfähigkeit ist ein defekter...
Trocknungsheizer für MEMS Sensoreiwafers
Wie man die MEMS-Wafern während des Trocknungsprozesses sauber hält
Wenn Sie in einem Reinraum der Klasse 100 arbeiten, kennen Sie sicherlich dieses...
Infrarot vs Konvektion zum Trocknen von Wafern
Auf dem Fertigungsboden sind Wafer-Trocknung und Photoresist-Vorbacken keine optionalen thermischen Schritte – sie sind Prozessvorgaben, um die man...