Wie man die MEMS-Wafern während des Trocknungsprozesses sauber hält
Wenn Sie in einem Reinraum der Klasse 100 arbeiten, kennen Sie sicherlich dieses Problem: Ein einziger Staubkorn oder ein fremder chemischer Gas kann dazu führen, dass die gesamte Charge nutzlos wird.
Das Problem ist, dass die meisten Heizelemente eigentlich ziemlich schmutzig sind. Wenn sie erhitzt werden, neigen sie dazu, mikroskopisch kleine Partikel abzugeben oder flüchtige organische Verbindungen freizusetzen – direkt auf die Waferoberfläche. Das ist eine Katastrophe, die nur darauf wartet, einzutreten.
Deshalb verwenden wir hochreine synthetische Quarzlampen. Diese verhalten sich nicht so.
Warum wir reines Quarz verwenden
Wir verwenden geschmolzenes Silicium, weil es sehr widerstandsfähig ist. Herkömmliches Glas oder billiges Quarz zerbricht bei hohen Temperaturen. Das gilt nicht für geschmolzenes Silicium.
Der Vorteil: Die Infrarotstrahlung dringt direkt durch die Flüssigkeitsschicht auf der Waferoberfläche. Dadurch verdunstet das Wasser schnell. Da nichts die Waferoberfläche berührt, muss man sich keine Sorgen um Kratzer oder Verschmutzungen machen.
Die richtige Temperatur einstellen
Wir nutzen kurzwelliges Infrarotlicht. Es trifft fast sofort auf die Waferoberfläche. Das ist sehr wichtig – denn wenn das Lösungsmittel zu lange zum Verdunsten braucht, entstehen Wasserflecken auf der Waferoberfläche.
Wir investieren viel Zeit in die Anpassung der Leistung und Spannung, damit die Wärme gleichmäßig über die gesamte Waferoberfläche verteilt wird. Ein Hinweis: Wenn Sie die Leistung erhöhen wollen, stellen Sie sicher, dass der Halter der Wafer die Hitze aushalten kann. Andernfalls kann die Waferoberfläche verzerrt werden.
Optimale Konstruktion
Wir halten die Konstruktion einfach – ohne überflüssige Gehäuse, die als Staubfänger dienen könnten. Die Anschlüsse sind minimiert, sodass weniger Teile beschädigt werden können. Zudem verwenden wir spezielle Dichtungen, damit keine Partikel aus den elektrischen Anschlüssen in die Heizzone gelangen.
Ein letzter Tipp: Diese Lampen werden sehr heiß. Wir empfehlen daher einen separaten Kühlkreislauf für die Enden der Lampen. Dadurch bleiben die Anschlüsse während der langen Produktionszyklen unbeschädigt.